ChemFET

Der ChemFET ist ein spezieller Feldeffekttransistor (FET). Dieser Transistor, der in komplett ausgeschriebener Form „chemisch sensitiver Feldeffekttransistor“ heißt, wird als Sensor zum Nachweis bestimmter Chemikalien eingesetzt. Generell ist der ChemFET wie ein normaler Feldeffekttransistor mit isolierter Gate-Elektrode (IGFET) aufgebaut. Zu den Transistoren dieser Bauvariation gehört auch der recht populäre MOSFET. Das charakteristische Merkmal des ChemFET ist die fehlende, sonst übliche metallische Gate-Elektrode. Diese wird beim chemisch sensitiven Feldeffekttransistor durch eine wässerige Lösung ausgetauscht.

 

Die Flüssigkeit sowie die darin enthaltenen Substanzen stehen in direktem Kontakt mit der Gate-Isolierschicht. Folglich kann es zu einer Anlagerung an den entsprechenden Kontakten kommen. Dieser Prozess ist auch gewollt und macht den ChemFET zu einem Detektor für Chemikalien verschiedener Art. Im elektrischen Betrieb kommt es im Inneren des ChemFET zu einer Ausbildung eines elektrischen Potentials, das abhängig ist von der Höhe der Konzentration einzelner Substanzen in der vorliegenden Lösung. Es gibt auch chemisch sensitive Feldeffekttransistoren, die für Gase und deren Inhaltsbestimmung genutzt werden.

 


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