Chemisch sensitiver Feldeffekttransistor

Ein spezieller Transistor ist der chemisch sensitive Feldeffekttransistor, kurz ChemFET. Dieses aktive elektrische Bauelement wird als Sensor für Chemikalien und zur Ermittlung chemischer Eigenschaften bestimmter Substanzen eingesetzt. Generell ist der chemisch sensitive Feldeffekttransistor aufgebaut wie ein normaler Feldeffekttransistor mit isoliertem Gate (IGFET). Zu diesen FETs zählt auch der populäre MOSFET. Allerdings weist der ChemFET statt der leitfähigen Gate-Elektrode eine wässerige Lösung auf. Die Lösung und die darin befindlichen Substanzen sind direkt mit der Gate-Isolierschicht verbunden und können sich an dieser ablagern.

 

Aus dieser technischen Konstellation ergibt sich die Möglichkeit einer konzentrationsabhängigen Ausbildung eines elektrischen Potenzials an den Grenzflächen des Feldeffekttransistors (FET). Dieses variable Potenzial verleiht dem chemisch sensitiven Feldeffekttransistor die Eigenschaft Flüssigkeiten auf ihren Gehalt an Atomen, Molekülen und Ionen zu testen. Der ChemFET wird deshalb auch oft als Biosensor eingesetzt.

 


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