MOEMS

Ein MOEMS ist ein spezielles Mikrosystem. Die Abkürzung MOEMS geht zurück auf die englische Bezeichnung „microoptoelectromechanical system“. Einfach gesagt ist ein Mikrosystem ein Gerät, ein Bauelement oder eine Baugruppe, dessen einzelne Bestandteile extrem kleine Ausmaße aufweisen. Die meisten MOEMS besitzen Bauteilgrößen im Mikrometerbereich und sind damit kleiner als eine gewöhnliche Hausmilbe. Ein MOEMS macht sich das Zusammenwirken der einzelnen Komponenten zunutze und kann für viele verschiedene elektronische Prozesse und Aufgaben eingesetzt werden.

 

Normalerweise setzt sich ein MOEMS aus mehreren Aktoren und Sensoren zusammen. Diese sind mit einer Steuerungselektronik auf einem Chip bzw. einem Substrat zusammengefasst. Größentechnisch abzugrenzen sind die Mikrosysteme von den Nanosystemen, die sich noch eine Größenordnung unter den MOEMS befinden. In der Wissenschaft hat sich die Mikrosystemtechnik als eigenständige Lehre und Forschungsgebiet etabliert.

Viele MOEMS und Mikrosysteme bestehen heute nicht mehr aus Silizium sondern aus günstigerem Kunststoff mit ähnlich guten Eigenschaften.

 


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