Micro-scanner

Der micro-scanner ist ein Bauteil, das mehrere technische Disziplinen miteinander verbindet. Folglich stellt der micro-scanner ein interdisziplinäres Bauelement dar. Grundsätzlich handelt es sich beim micro-scanner um ein mikro-opto-elektro-mechanisches Aggregat. Derartige Systeme werden auch verkürzt als „MOEMS“ bezeichnet. Der micro-scanner gehört der Bauteilgruppe der Mikrospiegelaktoren an. Diese werden eingesetzt, um in elektrotechnischen Anwendungen einen etwaigen Lichteinfall dynamisch zu modulieren. Der gesamte Prozess wird auch „dynamische Lichtmodulation“ genannt und spielt eine bedeutende Rolle bei der Konzeption von Projektionsdisplays.

 

Der micro-scanner nutzt zur Verarbeitung der Lichtstrahlung einen verbauten Einzelspiegel. Dies unterscheidet ihn von den Flächenlichtmodulatoren, die für die Lichtmodulation eine Spiegelmatrix aus mehreren Spiegeln verwenden. Es gibt verschiedene Bauarten von Mikroscannern. Zum einen existieren Scanner die einen sich translatorisch bewegenden Einzelspiegel beherbergen. Diese Konstruktion führt zu einer Phasenverschiebung der einfallenden Lichtwelle. Möchte man die Lichtwelle allerdings nur ablenken, so muss sich der Spiegel rotatorisch um eine oder zwei Achsen bewegen. Gängige Abmessungen von Chips liegen bei 4mm x 5mm. Der Spiegeldurchmesser beträgt dabei 1-3mm.

 


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