Micro-scanning-mirror

Was ist eigentlich ein „micro-scanning-mirror“? Der englische Ausdruck „micro-scanning-mirror“ steht für ein wichtiges Bauelement der optischen Elektrotechnik- und Elektronik. Des Weiteren besitzt der micro-scanning-mirror, im deutschsprachigen Raum auch oft Mikroscanner genannt, wichtige mechanische Eigenschaften die auf der Mikroebene genutzt werden. Häufig wird für derartig interdisziplinäre Systeme auch das Kürzel „MOEMS“ verwendet. Der Mikroscanner gehört zur Klasse der Mikrospiegelaktoren. Wie alle Mikrospiegelaktoren wird auch der Mikroscanner zur Modulation von Lichtwellen eingesetzt.

 

Dabei geschieht dieser Prozess dynamisch. Der wichtigste Bestandteil des Mikroscanners ist der Einzelspiegel. Dieser verbaute Spiegel bewegt sich im Inneren des Scanners und entscheidet dadurch über die Modulation des einfallenden Lichtstrahls. Diese Bewegung kann translatorisch oder rotatorisch erfolgen. Bei geradlinig bewegtem Spiegel ergibt sich eine Phasenverschiebung der durchströmenden Lichtwelle. Wenn der Einzelspiegel um eine oder mehrere Achsen rotiert, kommt es zu einer Ablenkung des Lichtes. Die Frequenzen für den Scanvorgang des Mikroscanners liegen je nach Bauart und Spiegelgröße im Bereich von 0,1 bis 50 kHz.

 


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