Mikroscanner

Ein Mikroscanner ist allgemein betrachtet ein mikro-opto-elektro-mechanisches Gesamtsystem aus der Bauteilgruppe der Mikrospiegelaktoren. Derartige Anordnungen werden auch verkürzt als MOEMS-Systeme tituliert. Ein Mikroscanner dient vorzugsweise der dynamischen Modulation von Lichtstrahlen. Dafür nutzt der Mikroscanner einen sich bewegenden Einzelspiegel. Ja nach Bauvariante kann die modulierende Wirkung des Spiegels translatorisch oder um eine Achse rotierend erfolgen. Manche Mikroscanner besitzen auch einen Einzelspiegel der um zwei Achsen rotiert.

 

Im translatorischen Fall wird eine Phasenverschiebung der Lichtstrahlen bewirkt. Im rotierenden Fall wird eine Ablenkung der extern einfallenden Lichtwellen erreicht. Mikroscanner unterscheiden sich von Flächenlichtmodulatoren, die auch zur Familie der Mikrospiegelaktoren gehören. Die Differenzierung bezieht sich dabei auf die Anzahl und Anordnung der verbauten Spiegel. Während ein Mikroscanner seine Funktion auf einen Einzelspiegel stützt, nutzt ein Flächenlichtmodulator eine Spiegelmatrix. Mikroscanner werden insbesondere in Projektionsdisplays sowie 3D-Kameras verbaut.

 


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