Mikrospiegelaktor

Ein Aktor der besonderen Art ist der Mikrospiegelaktor. Ein Mikrospiegelaktor wird zur dynamischen Modulation von Lichtstrahlung eingesetzt. Dieser spezielle Aktor zählt zu den mikroelektromechanischen Bauteilen. Unterschieden werden Mikrospiegelaktoren grundsätzlich in zwei Hauptgruppen. Es gibt die Mikroscanner und die Flächenlichtmodulatoren. Die Differenzierung dieser beiden Arten von Aktoren erfolgt primär nach Funktion und physikalischem Aufbau. Mikroscanner modulieren einfallende Strahlenbündel mittels eines sich stetig bewegenden Einzelspiegels. Lichtstrahlen können streifend über eine Fläche zur Projektion geführt werden. Dieser Vorgang wird auch als „scannen“ bezeichnet.

 

Praktische Verwendung finden Mikroscanner in der Endoskopie, der Spektroskopie oder in Projektionsdisplays. Im Gegensatz zu Mikroscannern erfolgt bei der zweiten Bauart von Mikrospiegelaktoren, den Flächenlichtmodulatoren, die Modulation des Lichtes über eine verbaute Spiegelmatrix im Inneren des Bauelements. Die separaten Spiegel nehmen im zeitlichen Verlauf der Bestrahlung diskrete Auslenkungen und Ausrichtungen an.

 


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